Название	Удосконалення блоку управління і конструкції реактора установки вакуумного напилювання
Количество страниц	69
ВУЗ	КИЇВСЬКИЙ ПОЛІТЕХНІЧНИЙ ІНСТИТУТ
Год сдачи	2009
Содержание	ВСТУП 1. ТЕХНОЛОГІЇ ВАКУУМНОГО НАПИЛЕННЯ УСТАТКУВАННЯ ДЛЯ НАНЕСЕННЯ ТОНКИХ ШАРІВ І ПЛІВОК 1.1. Фізичні основи нанесення тонких плівок у вакуумі 1.1.1. Термічне вакуумне напилювання 1.1.2. Катодне розпилення 1.1.3. Ионно-плазменне напилювання 1.2. Вакуумні системи і їхні елементи 1.2.1. Основні вимоги, пропоновані до вакуумних систем. 1.2.2. Вакуумні системи встаткування для нанесення тонких плівок 1.2.3. Елементи вакуумних систем 1.3. Пристрій вакуумної камери для одержання тонких плівок термічним випаром 2 УДОСКОНАЛЕННЯ БЛОКІВ УСТАНОВКИ ВАКУУМНОГО НАПИЛЕННЯ 2.1. Конструкція і принцип роботи лабораторної установки вакуумного напилювання 2.1.1. Блок-схема 2.1.2. Принципова схема вакуумної системи 2.1.3. Пристрій вакуумної системи. 2.1.4. Структура електричної схеми базової установки 2.2. Модернізація електричної схеми установки вакуумного напилювання 2.2.1. Розрахунок силового трансформатора 2.2.2. Розробка трьохканального пристрою регулювання струму 2.2.3. Забезпечення підтримки постійної температури підкладки 2.2.4. Структура модернізованої електричної схеми. 2.3. Розробка механічного пристрою повороту заслінки 2.3.1. Вибір пристрою для передачі руху у вакуумну камеру 2.3.2. Конструкція механізму повороту заслінки 3. ТЕХНОЛОГІЧНА ЧАСТИНА 3.1Технологічний процес виготовлення друкованої плати і валика 4. ЕКОНОМІЧНА ЧАСТИНА 4.1. Підготовчий етап 4.2. Інформаційний етап 4.3. Висновок 5. ОХОРОНА ПРАЦІ І ТЕХНИКА БЕЗПЕКИ 5.1. Аналіз умов праці 5.2. Освітленість 5.3. Штучне висвітлення 5.4. Електробезпечність. Розрахунок захисного заземлення 5.5. Шум 5.6. Оздоровлення повітряного середовища 5.7. Пожежна безпека ВИСНОВОК СПИСОК ЛІТЕРАТУРИ
Список литературы
Цена:	Договорная